MOVPE

MOVPE es el desafío más crítico en términos de gestión de gases de escape. La combinación de caudales del orden de litros por minuto de AsH3 y PH3, el predominio del hidrógeno y la alta deposición de fósforo blanco autoinflamable en las líneas de efluentes no es superada por ningún otro proceso utilizado en fábricas de semiconductores de silicio o compuestos

Características y ventajas

El reto especial que representa la aplicación de MOVPE se refleja en varias características exclusivas de la línea de productos absorbentes en lecho seco “CLEANSORB” de CS CLEAN SYSTEMS:

• Todas las conexiones de gas están dentro de un módulo con extracción de aire
• Todas las tuberías son de acero inoxidable
• El sistema sigue funcionando durante cortes de energía
• Detector de gas de referencia
• Monitor de temperatura de matriz IR
• Reoxidación (pasivación) de la columna absorbente
• Miniabsorbente de derivación
• Válvula de derivación automática
• Enfriamiento forzado por columna de N2 ante sobrecalentamiento
• Válvulas de entrada y salida que aíslan del proceso

Fuente: http://www.cscleansystems.com/applications_movpe.html?setlang=es-es&PHPSESSID=99c3abb1ccfb1a89f3142df0ceb5c17c

Nombre Franklin Quintero

Asignatura EES